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科利登GlobalScan-Ⅰ系统定位复杂设计和成品率问题
作者:暂无 来源:今日电子 年份:2004 文献类型 :期刊文章 关键词: 成品率  步进扫描  图像叠加  掩模  系统定位  集成电路  量产时间  问题  产品  加工成本 
描述:效和稳固。GlobalScan-Ⅰ支持多种物镜选件,采用亚微米图像叠加方法的精密定点、步进扫描模式和实时的集成CAD导航技术。